الكربنة الفراغية هي تسخين قطعة العمل في الفراغ.عندما تصل إلى درجة حرارة أعلى من النقطة الحرجة ، فإنها ستبقى لفترة من الوقت ، وتزيل الغازات وتزيل طبقة الأكسيد ، ثم تمر في غاز الكربنة المنقى من أجل الكربنة والانتشار.درجة حرارة الكربنة للكربنة بالفراغ عالية ، تصل إلى 1030 ℃ ، وسرعة الكربنة سريعة.يتم تحسين النشاط السطحي للأجزاء المكربنة عن طريق إزالة الغازات وإزالة الأكسدة.سرعة الانتشار اللاحقة عالية جدًا.يتم إجراء الكربنة والانتشار بشكل متكرر وبالتناوب حتى يتم الوصول إلى عمق وتركيز السطح المطلوب.
يمكن التحكم في عمق الكربنة الفراغية وتركيز السطح ؛يمكنها تغيير الخصائص المعدنية للطبقة السطحية للأجزاء المعدنية ، وعمق الكربنة الفعال أعمق من عمق الكربنة الفعلي للطرق الأخرى.